為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中破裂，燦元可為客戶提供綁定（Bonding）服務，即把靶材綁定在背板上，除了具有保護靶材免于運送或者拿取中的意外破裂，也可確保靶材的冷卻及電接觸良好，并可改善靶材使用時機械強度不足的問題，亦可解決大尺寸面積靶材受限的問題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅、金屬鈦、金屬鉬和不銹鋼，背板是在濺射時支撐靶材，以防靶材在濺射中出現(xiàn)開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命
燦元金屬目前能提供純銦綁定和導電膠綁定，綁定率>95%，達到國際領先水平。
綁定范圍：平面靶、旋轉(zhuǎn)靶、圓形靶、異形靶。
檢測方法：超聲波探傷檢測(C-SCAN)。
詳細資料點擊下載
