ATO靶材即為氧化錫銻靶材，以氧化錫為主，摻雜氧化銻，是一種N型半導(dǎo)體材料，是近年來發(fā)展起來的一種新型透明導(dǎo)電氧化物材料，具有禁帶寬度大（≥3.6eV）、導(dǎo)電性好、可見光透過率高、抗輻射、熱穩(wěn)定性好等優(yōu)異性能。AZO靶材的燒結(jié)通常采用放電等離子體燒結(jié)法(SPS)，尺寸及比例根據(jù)客戶要求定制。
純度：99.99%；常用比例：SnO2:Sb2O3=90:10（wt%）、SnO2:Sb2O3=95:5（wt%）。
應(yīng)用領(lǐng)域：平板顯示器、太陽(yáng)能電池、其它光電材料領(lǐng)域。
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